Komora i generator plazmy niskotemperaturowej

Oczyszczanie plazmowe, modyfikacja powierzchni materiałów

Komora i generator plazmy niskotemperaturowej

Komora i generator plazmy niskotemperaturowej pod obniżonym ciśnieniem

W ostatnich latach plazma nietermiczna przy obniżonym ciśnieniu lub w pobliżu ciśnienia atmosferycznego przyciągnęła zainteresowanie ze względu na jej zastosowanie przy wielu rozwijających się technologiach. Plazma nietermiczna może służyć sterylizacji, oczyszczaniu powierzchni oraz modyfikacji powierzchni. Jony i reaktywne cząstki będące w stanie wzbudzonym mogą stracić część swojej energii wewnętrznej podczas zderzeń z innymi cząstkami lub powierzchnią. Istnieje również możliwość utraty energii poprzez emisję fotonów w obszarze UV. Opisane czynniki osobno lub wspólnie są odpowiedzialne za biobójcze działanie plazmy gazowej, jak również za pojawienie się nowych właściwości powierzchni obiektu.

Najpowszechniej stosowanym sposobem generowania i utrzymywania plazmy niskotemperaturowej do stosowania technologicznego jest przyłożenie pola elektrycznego do gazu obojętnego.

Komora i generator plazmy niskotemperaturowej pod obniżonym ciśnieniem konstrukcji Measline wraz z precyzyjnym pomiarem ciśnienia.

Wewnątrz komory plazmowej do dezynfekcji zamontowane są elektrody metalowe. Górna elektroda podłączona
jest do zasilania RF, natomiast dolna elektroda została uziemiona. Gaz dostarczany jest przez regulator przepływu masy.